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微型干式真空泵

更新日期2020年10月22日 14:08:00

型号微型干式真空泵

微型干式真空泵是一种真空泵,因为它是终身免维修。微型无油干机械真空泵(也称为干式机械泵),意味着泵可以从大气压力下抽出空气,并将空气泵直接排入大气,泵的极限压力与油

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产品详情

微型干式真空泵是一种真空泵,因为它是终身免维修。微型无油干机械真空泵(也称为干式机械泵),意味着泵可以从大气压力下抽出空气,并将空气泵直接排入大气,泵的极限压力与油封真空泵相同。

目前,真空工业中使用的大多数机械真空泵都是油、水或其他聚合物作为泵的工作介质。在泵中起到冷却、密封、润滑等作用。随着科学技术的发展和真空应用的扩大,原机械真空泵及其泵送系统存在着两个亟待解决的问题。

首先,微型干式真空泵的工作介质返回污染被容器吸收,在许多情况下影响产品的质量,提高了设备的维护成本。第二,由于一些工艺过程中的反应物质对真空泵中的介质进行了严重的变质,泵不能正常工作。

应用范围:

微型干式真空泵广泛应用于以下几个方面:

1、低压化学气相沉积多晶硅制备技术。

2、半导体蚀刻过程。在这些生产过程中,常用或产生腐蚀性气体和研磨颗粒。

3、除了半导体技术之外,一些微粒技术不想将颗粒混合到泵油中,希望颗粒会从泵中排出。采用一定类型的干式机械真空泵满足要求。

4、蒸馏、干燥、脱泡包装等应防止有机溶剂污染,适用于微型干式真空泵。

5、用作无油清洗真空系统的先导泵,防止油污染。

微型干式真空泵参数:

型号 电压
(V DC)
负载电流
(A)
功率
(W)
峰值流量(L/min) 真空度(abs.) 负压
(相对压力)
体积
(MAX外形尺寸)
(mm)
重量
(g)
三种单位换算值
KPa mmHg mbar KPa
PC4020N 12 <1.2 <14.4 20 40 300 400 -60 156×64×72
 
1000
 
 
24 <0.65 <15.6
PC3025N
 
12 <1.6 <19.2 25 30 225 300 -70 156×64×72
24 <0.8 <19.2
对比:标准大气压 101 760 1013      
 
 

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